現代應用X射線熒光光譜分析技術目前已在地質、冶金、材料、環境等無機分析領域得到了廣泛的應用,是各種無機材料中主組分分析最重要的技術手段之一,各種與X射線熒光光譜相關的分析技術,如同步輻射XRF、全反射XRF光譜技術等,在痕量和超痕量分析中發揮著重要的作用。