臭氧發生器的安全和預防措施

　　1. 操作設備時必須要知道的安全預防

　　1.1 不能讓橡膠類（橡膠和丁腈橡膠）的密封圈直接接觸臭氧，不能使用鍍銀的VCR墊片；

　　1.2 不能使用其他氣體代替設備指定規格的氣體；

　　1.3 絕不允許任何外來物質進入臭氧發生器，避免臭氧催化劑進入臭氧氣管。

　　2. 設備中的潛在危險以及預防措施—臭氧

　　1.1 Ozone主要存在于氣體管道、臭氧發生管 以及設備連接處；

　　1.2 Ozone的安全和預防措施：

　　1. 確保臭氧氣柜的排風工作正常；

　　2. 連接所有的進口和出口的氣體管道，并且使用SS不鍍銀的VCR墊片；

　　3. 不要打開外部氣體管路或者設備連接管路，除非SEMOZONE已通入氮氣清潔管道；

　　4. 在臭氧發生器運行前一定要檢查緊固所有的臭氧管路；

　　5. 觀察如果OZONE檢測裝置臭氧濃度超過TLV設定值，會不會停止臭氧發生器。

　　1.3 臭氧泄漏的處理措施：

　　1. 通過激活外部報警信號或者通過急停停止臭氧發生器

　　2. 疏散所有危險區域的人員

　　3. 在沒有自呼吸式防護裝備的情況下不要進入危險區域

　　4. 在進入危險區域前，要使臭氧自然分解或者消散

　　3. 設備中的潛在危險以及預防措施—氧氣

　　3.1 Oxygen主要存在于氣體管道，臭氧發生管 以及設備連接處；

　　3.2 Oxygen的安全和預防措施：

　　1. 連接所有的進口和出口的氣體管道，并且使用SS不鍍銀的VCR墊片；

　　2.如果存在明火，不要打開外部氣體管路或者設備連接管路，直到SEMOZONE已清洗管道；

　　3.3 氧氣泄漏的處理措施：通過外部閥門關閉氧氣進氣。

　　4. 設備中的潛在危險以及預防措施—電擊 Line voltage

　　4.1 Line voltage在臭氧發生器的后面接線終端，以及所有的電路連接組成部分（包括臭氧發生器內的電壓電路連接）

　　4.2 Line voltage 電路電壓的安全和預防措施：

　　1. 如果臭氧發生器已上電，不要打開設備蓋板接觸電路部件；

　　2. 禁止在臭氧發生器運行中移走絕緣蓋板；

　　3. 保證在維修時要鎖定且懸掛維修掛牌。

　　4.3 雖然總電源和主開關已經斷電在OFF位置，一些電路部分依然有電

　　1. ECOPS（G1）終端區域存在電；

　　2. 主開關S1輸入終端有電。

　　5. 設備中的潛在危險以及預防措施—電擊 High AC voltage

　　5.1 High AC voltage主要是存在于ECOPS(G1)內部、ECOPS中的電容器內、高電壓電纜和連接臭氧管的電路

　　5.2 High AC voltage 電路電壓的安全和預防措施：

　　1. 如果臭氧發生器已上電，不要打開設備蓋板接觸電路部件；

　　2. 禁止在臭氧發生器運行中移走絕緣蓋板；

　　3. 高電壓線路沒有正確連接和隔離禁止運行AEMOZON。

　　6. 設備中的潛在危險以及預防措施—電擊 Stored charges

　　6.1 Stored charges是ECOPS(G1)的電源

　　6.2 High AC voltage 電路電壓的安全和預防措施：

　　1.在SEMOZONE斷電之后禁止立即對ECOPS進行維修；

　　2.SEMOZONE斷電之后，在打開ECOPS進行維修和更換之前還要至少等待10分鐘以上。

　　7. 設備中的潛在危險以及預防措施—物理壓力 pressure

　　7.1 壓力危險主要存在于氣體和水管道、臭氧發生反應管以及設備連接之間

　　7.2 Pressure 的安全和預防措施：

　　在打開氣體管道、水管道以及設備連接管道時，要對SEMOZONE內進行泄壓

　　7.3 Gas line

　　1. 沖洗管路至少10分鐘，直到所有的臭氧排掉；

　　2. 通過外部閥門或者壓力調節閥關閉氧氣進氣，如有氮氣進氣也要關閉；

　　3. 釋放氣體壓力，通過工藝管路（打開工藝管路閥門）；

　　4. 等待直到壓力接近周圍的環境壓力。

　　7.4 Water line

　　1. 關閉冷卻水進水和出水閥門；

　　2. 慢慢打開設備連接處，使冷卻水排放到預留的外部存水盤中；

　　3. 等待直到沒有多余的水從設備連接處流出來為止。