薄膜如何降低表面應力

在真空鍍膜機鍍制膜層后，薄膜表面會存在一種有叫表面應力的力，這種力在很多物質上都存在，所以薄膜也不例外，但由于薄膜的厚度非常薄膜，所以能夠承受的表面應力是極度小的。 其實薄膜的表面應力就是對其拉伸或彎曲時因改變薄膜表面的面積從而產生的能量，而這種能量超過了薄膜能承受的范圍，就會引起膜層裂開。另以為對于不易變形的工件上的薄膜不易拉伸彎曲，但不代表沒有，其表面鍍制的是一層很薄的膜層，所能承受的可想而知。 所以降低薄膜的表面應力是防止膜層裂開的一種有效的方法之一。總的來說可以從三個方面進行調整，第一個是降低蒸發的速率，對于那些通過真空蒸發鍍膜機鍍制的薄膜，可以把蒸發的速率適當的降低，使靶材成膜沒那快，提高膜層的質量，雖說慢工出細貨，但也不能大大的降低，因為在追求質量的同時，產量也是要注意的。第二個是延長除氣的時間，因為工件里存有某些氣體或水分，除氣的目的就是把這些在鍍膜前排出，以免降低了真空鍍膜機內的真空度，真空度不夠高也是會影響膜層的質量的。第三個是降低烘烤的溫度，雖說烘烤溫度高，可以加速除氣，但過高的溫度也會影響到工件本身的性能，改變了工件自身的性質，在表面應力也就更難以控制了。 通過以上三個不同的方法，都可以有效的降低薄膜的表面應力，能大大降低膜層裂開的危險。