薄膜應力測試儀的概述

　　薄膜應力測試儀是一種用于物理學領域的工藝試驗儀器，于2009年4月30日啟用。主要適用于4、6英寸兼容的硅片測試，測試范圍正負2個GPa。其功能是進行氮化硅、氧化硅薄膜的應力測試。