薄膜電容檢測器又稱薄膜微音器,由金屬薄膜片動極和定極組成電容器,當接收氣室內的氣體壓力
受紅外輻射能的影響而變化時,推動電容動片相對于定片移動,把被測組分濃度變化轉變成電容量變化。
薄膜電容檢測器是紅外線分析儀器長期使用的傳統檢測器,目前使用較多。
① 優點:溫度變化影響小、選擇性好、靈敏度高,必須密封按交流調制方式工作。
② 缺點:薄膜易受機械震動的影響,造成接收氣室漏氣,以及調制頻率不能提高,放大器制作比較困難,體積較大等。