表征壓力控制儀的主要技術指標

　　表征壓力控制儀的主要技術指標是壓力控制范圍、控制精度、流量控制范圍、反應時間等。它取決于其配用的真空規管、控制電路及真空調節閥的性能。壓力控制儀廣泛應用于離子注入、離子束刻蝕、真空鍍膜、激光技術及半導體材料等領域，其使用的環境條件與同類型的真空計大致相同。