用于直接測量的表面污染測量儀要能夠探測低于規程限值水平的污染。測量時，探測器要盡可能靠近表面移動，一旦探測到污染，探測器應在該區域定位測量足夠時間，以確認污染水平。測量程序如下：
（1）在一個有代表性的檢測區域測量本底計數率；
（2）定期檢驗本底計數率；
（3）使用適當的檢驗源證明儀器工作正常（每天檢驗）。 偏離正常值25%儀器要重新刻度；
（4）探測器和表面之間的距離要保持盡可能小；
（5）在適當位置探測器至少停留3倍儀器的響應時間；
（6）在預期的環境條件范圍內要知道被測核素的儀器效率；
（7）在表面不是很平整的情況下，要評估檢測對象表面形狀對儀器效率的影響；
（8）對被檢測對象表面可以看得見的污物 或氧化物在不能去除的情況下，要考慮對污染源效率的影響。