角分辨微分散射儀是一種用于物理學、材料科學領域的分析儀器，于2018年6月8日啟用。
技術指標
1. 角度分辨率：<0.001° 2. 橫向X運動范圍：-50mm~+50mm，縱向Y運動范圍：-25mm~+25mm 3. 入射角 運動范圍：-90°~+90°, 極化角 運動范圍：-270°~+270°, 方位角 運動范圍：-90°~+90° 4. 重復性：<5% 5. 測試波長：320nm, 633nm, 808nm, 1064 nm 6. 靈敏度：0.13ppm（320nm）；0.74ppm（633nm）；0.19ppm（808nm）；0.03ppm（1064nm） 7. 透射半球ARS，反射半球ARS 8. 支持圓偏振、s偏振、p偏振光入射；支持s偏振、p偏振光探測。
主要功能
該儀器主要應用于測試樣品散射損耗，在高角度分辨率與高檢測靈敏度條件下獲得樣品的角分辨散射圖。