解釋一下化學氣相沉積法制備納米材料

化學氣相沉積可以分為有基底沉積和無基底沉積。
有基底沉積又分為催化沉積和無催化沉積；
催化沉積往往用于區域選擇性沉積或特定形貌納米材料的沉積；
無催化沉積常用于制作各種膜材料；
無基底沉積往往利用氣相分解，可以得到各種納米粉體，使用相對較少。