請問場發射sem有什么特別好處？

場發射電鏡的主要優勢就是分辨率高，尤其是低加速電壓下的分辨率更是遠遠超過鎢燈絲電鏡。因此更適合于進行真實的表面分析，特別是薄膜樣品。

冷、熱場發射掃描電鏡的差別：

1、電子源
下表是一個資料上關于各種電子源性能的對比，不一定完全準確，但很有參考價值。

從上表可以看出，冷熱場發射源各有優勢。熱場在總發射電流（Total emission current）、最大探針電流（Maximum probe current）、電子束噪聲（Beam noise）、發射電流漂移（Emission current drift）、工作真空（Operating vacuum）、陰極還原（Cathode regeneration）、對外部影響的敏感性（Sensitivity to external influence）等方面都具有一等的優勢。這些參數直接影響電鏡的性能。
在陰極半徑（Cathode radius）、有效電子源半徑（Effective source radius）、發射電流密度（Emission current density）、標準亮度（Normalised brightness）等方面，冷場發射略勝一籌。這幾個參數總起來說就是冷場發射陰極的發射面積較小、能量集中，便于將電子束聚焦于一個很小的點，以提高分辨率。但是在現代的電鏡技術條件下，熱場發射電鏡通過采取各種有效措施，也能夠將電子束匯聚于一個理想的點，達到冷場發射電鏡的分辨率水平。
熱場發射電鏡主要的一個缺點是燈絲（陰極）壽命較短，給定壽命2000小時，實際可用3年左右。而冷場發射陰極壽命相對較長，且更換費用較低。
2、儀器性能
2.1 分辨率
一般的通用場發射掃描電鏡較高檔次的分辨率均可達到1nm@15kV，在這方面冷場和熱場沒有明顯差別。個別型號的冷場發射掃描電鏡分辨率可達到0.6nm，但是這種電鏡的使用是非常局限的，樣品只能有幾毫米大小，在各種分析方面都受到很大限制，且價值昂貴。
2.2 穩定性
冷場發射電鏡燈絲要吸附電子槍內的殘留氣體，隨著時間的增長，發射電流越來越不穩定，需要定時（大約8小時一次）進行加熱還原（flash，約需半小時），給使用維護帶來不便。而熱場發射電鏡無此煩惱。
熱場發射電鏡的發射電流穩定度較好，漂移小于0.5%/h（有的電鏡指標可達到0.2%/h），而冷場發射則比這要大一個數量級。
2.3 最大探針電流
熱場發射電鏡探針電流一般可達10nA，而冷場電鏡卻要低約1個數量級。大探針電流儀器可容易進行 BSE、EDS、WDS、EBSD、CL 等分析。
2.4 工作真空度
熱場發射電鏡電子槍所需的工作真空度較低（≤1x10-8hPa），比較容易達到，一般只用一級離子泵就可以了。而冷場電鏡的工作真空度要高1～2個數量級，一般要用兩級離子泵，對真空密封等要求苛刻。冷場發射電鏡樣品室的真空度要求也較高，這對于不太清潔、含水、含油、有氣體析出的樣品，抽真空就很困難。
有多種型號的熱場發射電鏡具有低真空方式，而冷場電鏡難以做到。