早期的質譜儀主要是用來進行同位素測定和無機元素分析，二十世紀四十年代以后開始用于有機物分析，六十年代出現了氣相色譜-質譜聯用儀，使質譜儀的應用領域大大擴展，開始成為有機物分析的重要儀器。
計算機的應用又使質譜分析法發生了巨大變化，使其技術更加成熟，使用更加方便。
八十年代以后又出現了一些新的質譜技術，如快原子轟擊電離子源，基質輔助激光解吸電離源，電噴霧電離源，大氣壓化學電離源，以及隨之而來的比較成熟的液相色譜-質譜聯用儀，感應耦合等離子體質譜儀，富立葉變換質譜儀等。這些新的電離技術和新的質譜儀使質譜分析又取得了長足進展。今天，咱們就對這些質譜儀的優/缺點進行一下比較，讓你更了解每一種質譜儀的特點，以便你在日后的工作中可以選擇最佳的質譜儀。