質譜檢漏儀用來檢測真空腔體中幾種氣體分子的分壓，然后換算成泄漏速率。當氣體分子到達探頭時，探頭采樣并給出信號，經過自動換算得出分壓數值。質譜檢漏儀的本底噪聲主要來自探測器的本底噪聲，會有內置程序對噪聲進行處理，降低對測量的影響。所以對檢漏的影響不大。但當探頭表面有附著物，會影響精度，所以每次使用前有個探頭預熱過程，消除表面附著物。這個過程類似電離真空計的使用過程。
