定義：采用超臨界流體為溶劑對中藥材進行萃取的方法
超臨界流體（SF）：指處于臨界溫度（Tc）和臨界壓力（Pc）以上，介于氣體和液體之間的、以流動形式存在的單一相態物質。密度與液體相近，而黏度與氣體相近，擴散能力強。
萃取選擇性的決定因素：溫度、壓力、夾帶劑的種類及含量
常用的提取物質：
C02、NH3、C2H6、C7H16、CCl2F2、N2O、SF6等，實際最常用的為C02。
（1）C02超臨界流體萃取的特點：
①不殘留有機溶劑、萃取速度快、收率高、工藝流程簡單、操作方便；
②無傳統溶劑法提取的易燃易爆的危險，減少環境污染，無公害，產品是純天然的；
③因萃取溫度低，適用于對熱不穩定物質的提取；
④萃取介質的溶解特性容易改變，在一定溫度下只需改變其壓力；
⑤還可加入夾帶劑，改變萃取介質的極性來提取極性物質；
⑥適于極性較大和分子量較大物質的萃取；
⑦萃取介質可循環利用，成本低；
⑧可與其他色譜技術聯用及IR、MS聯用，可高效快速地分析中藥及其制劑中的有效成分。
（2）局限性
①對脂溶性成分溶解能力強，而對水溶性成分溶解能力弱；
②設備造價高，成本高；
③更換產品時設備清洗困難
（3）夾帶劑的作用
夾帶劑（entrainer）作為亞臨界組分，揮發度介于超臨界流體與被萃取溶質之間，以液體形式和相對小的量加入超臨界流體中。
作用：①改善或維持選擇性；②提高難揮發溶質的溶解度。
對溶質具有很好溶解性的溶劑也往往是很好的挾帶劑，常用甲醇、乙醇、丙酮、乙腈等。