超純水機要徹底去除天然水中常見雜質，包括：微生物、顆粒物、可溶性氣體、可溶性無機物、有機物等雜質。目前凈化水質的工藝方法有很多，但常用的有反滲透法、過濾法、吸附法、蒸餾法、離子交換法、紫外氧化法等。
實驗室超純水機顆粒物質>10-4mm,肉眼可見泥沙、原生動物、藻類、細菌、病毒、鐵銹
處理方式：預沉、過濾
膠體物質10-4--10-6mm動植物腐殖物
處理方式：加入藥劑使其沉淀
水中溶解物質<10-6mm溶于水中的溶解鹽類的離子和氣體
處理方式：離子或RO
實驗室超純水機水中有機物質天然存在物質和污染物質
處理方式：活性炭吸附
細菌內毒素細菌、微生物、酵母等具有生物活性的物質
處理方式：UF，高溫
不反應的溶解氣體氧氣與氮氣
處理方式：調節溫度
可反應的溶解氣體CO2，NH3
處理方式：離子交換
實驗室超純水機消毒副產物THMS
處理方式：活性炭吸附、RO
殘留消毒劑次氯酸和次氯酸根
處理方式：活性炭吸附
硬度過大>100ppm,需作預處理
處理方式：離子交換軟化
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