超純水被污染的原因：
一是來自外界雜質的引入；
二是系統內各種材料中所含污染物的溶出。
因超純水管道材質造成純水水質下降主要有以下兩點:
1、管道材質中的不純物質溶解于超純水中致使水中陽、陰離子增加、電阻率下降以及TOC增大。
2、因管道內壁不光滑及接頭、閥門等原因造成細菌滯留繁殖以及其他顆粒的聚積,致使水中微粒增加。
