一、定義不同
1、輝光放電（glow discharge）是指低壓氣體中顯示輝光的氣體放電現象，即是稀薄氣體中的自持放電（自激導電）現象；
2、電暈放電（corona discharge）是指氣體介質在不均勻電場中的局部自持放電，是最常見的一種氣體放電形式；
3、火花放電是指在普通氣壓及電源功率不太大的情況下，若在兩個曲率不大的冷電極之間加上高電壓，則電極間的氣體將會被強電場擊穿而產生自激導電的放電形式；
4、弧光放電是指呈現弧狀白光并產生高溫的氣體放電現象。無論在稀薄氣體、金屬蒸氣或大氣中，當電源功率較大，能提供足夠大的電流（幾安到幾十安），使氣體擊穿，發出強烈光輝，產生高溫（幾千到上萬度），這種氣體自持放電的形式就是弧光放電；
二、原理機制不同
1、輝光放電是種低氣壓放電(Low pressure discharge)現象，工作壓力一般都低于10 mbar，其基本構造是在封閉的容器內放置兩個平行的電極板，利用產生的電子將中性原子或分子激發，而被激發的粒子由激發態降回基態時會以光的形式釋放出能量；
2、電暈放電的形成機制因尖端電極的極性不同而有區別，這主要是由于電暈放電時空間電荷的積累和分布狀況不同所造成的。
在直流電壓作用下，負極性電暈或正極性電暈均在尖端電極附近聚集起空間電荷。
在負極性電暈中，當電子引起碰撞電離后，電子被驅往遠離尖端電極的空間，并形成負離子，在靠近電極表面則聚集起正離子。電場繼續加強時，正離子被吸進電極，此時出現一脈沖電暈電流，負離子則擴散到間隙空間。
此后又重復開始下一個電離及帶電粒子運動過程。如此循環，以致出現許多脈沖形式的電暈電流。
3、火花放電的形成機制是，在電勢差很高的正負帶電區域間出現閃光并發出聲響的瞬時氣體放電現象。在放電的空間內，氣體分子發生電離，氣體迅速而劇烈發熱，發出閃光和聲響。火花放電是間歇性的。雷電就是自然界中大規模的火花放電現象。
4、弧光放電的產生機制是使兩電極接觸后隨即分開，因短路發熱，使陰極表面溫度陡增，產生熱電子發射 。熱電子發射使碰撞電離及陰極的二次電子發射急劇增加，從而使兩極間的氣體具有良好的導電性。
