1、輻照是指高能粒子流（射線）。
2、輻照劑量是指每單位物質質量所接受的輻射能量，稱為劑量。
3、輻照劑量常用“rad”做計量單位，讀作拉德，或者“gray”作為計量單位，讀作戈瑞。
4、輻照劑量與其它常用能量單位之間的關系為：
1rad
=
100erg/g
=
6.24×1013ev/g，
1gray
=
1j/kg
=
100rad。
5、整個材料或者器件所接受到的輻照劑量的總和，即稱為總劑量（tid）。
6、在半導體器件和ic的抗輻照技術中，有時還會用到所謂輻照的通量和積分通量的概念。
通量就是指單位時間、照射到單位面積上的高能粒子的數目，單位是[粒子數/(cm2-s)]；
積分通量就是指在整個作用時間內、照射到單位面積上的高能粒子的數目，單位是[粒子數/cm2]。