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  • 發布時間:2021-01-11 17:28 原文鏈接: 近紅外光纖光譜儀對LED及薄膜厚度的測試

     近紅外光纖光譜儀采用背照式CCD,相比普通光譜儀,其紫外靈敏度提升。同時,采用雙閃耀光柵,配備消高階濾光片,基于100.0mm焦距光學平臺,在全波譜范圍提供了均衡的靈敏度和較高的分辨率,是一款適合多種科研應用的光譜儀。

      光纖光譜儀以其檢測精度高、速度快等優點,已成為光譜測量學中使用的重要測量儀器,被廣泛應用于農業、生物、化學、地質、食品安全、色度計算、環境檢測、醫藥衛生、LED檢測、半導體工業、石油化工等領域。

      我們來看看它的兩個應用:

      1.近紅外光纖光譜儀在LED上的測量:

      單而且迅速地測量LED的整個光通量的方法就是使用一個積分球,并把它連接到光纖光譜儀上。該系統可以用鹵素燈進行定標,然后通過軟件從測量到的光譜分布計算出相關參數,并實現輻射量的測量。所測光源的光譜發光強度還可以用μW/cm2/nm來計算、顯示并存儲。另外的窗口還可以顯示大約10個參數:輻射量μW/cm2,μJ/cm2,μW或μJ;光通量lux或lumen,色軸X,Y,Z,x,y,z,u,v和色溫。

      2.近紅外光纖光譜儀在薄膜厚度上的測量:

      光學的膜厚測量系統基于白光干涉測量原理,可以測量的膜層厚度10nm-50μm,分辨率為1nm。薄膜測量在半導體晶片生長過程中經常被用到,因為等離子體刻蝕和淀積過程需要監控;其它應用如在金屬和玻璃材料基底上鍍透明光學膜層也需要測量膜層厚度。


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