TEM:即透射電子顯微鏡,簡稱透射電鏡,是把經加速和聚集的電子束投射到常薄的樣電子與樣品中的原子碰撞而改變方向,從而產生立體角散射。散射角的大小與樣品的密度、厚度相關,因此可以形成明暗不同的影像。通常透射電子顯微鏡的分辨率為2nm,放大倍數為幾萬~百萬倍,用于觀察超微結枸,即小于0.2微米、光學顯微鏡下無法看清的結構,又稱“亞顯微結構”。
TEM的優點:光學鏡和透射電子顯微鏡都使用用薄片的樣品,而透射電子顯微鏡的優點是,它比光學顯微鏡更大程度的放大標本。放大10000倍或以上是能的,這使科學家可以看到非常小的結構。對于生物學家,如線粒體和細胞器,細胞,內部運作都清晰可見。透射電鏡標本的晶體結構提供了出色的分辨率,甚至可以顯示樣本內的原子排列。
TEM的缺點:透射電子顯微鏡需要在一個真空室制備標本。由于這一要求,在顯微鏡可以用來觀察活標本,如原生動物,。一些微妙的樣品也可能被損壞的電子束,必須先用化學染色或涂層來保護他們。這種治療有時會破壞試樣。
使用條件:在以存儲器器件為代表的集成電路芯片的電子顯微分析中,掃描電子顯微鏡由于使用方便,往往是微觀分析的首選。另外不需要得到體內信號結構信號,制樣方便,制樣周期短,需要非破壞性的分析的樣品表面結構保存好沒有變形和污染,樣品干燥并且有良好導電性能使用SEM比較合適
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