透射電鏡原位摩擦測試儀是一種用于物理學、材料科學領域的物理性能測試儀器,于2017年6月21日啟用。
技術指標
1. 儀器能同時同步提供原位納米力學材料測試結果和透射電子顯微中材料變形的觀察,并能準確提供定量的載荷/摩擦力和位移的數據。
2. 縱向載荷:最大施加縱向載荷: 1.5 mN;縱向載荷分辨率:<8 nN;縱向載荷噪音背景: <200 nN。
3. 縱向位移:最大縱向壓入深度: 5 μm;縱向位移分辨率:<0.02 nm;縱向位移噪音背景: <1 nm。
4. 切向載荷:最大施加切向載荷:0.5 mN;切向載荷分辨率:<20 nN;切向載荷噪音背景:<500 nN。
5. 切向位移:最大切向位移距離:10μm;縱向位移分辨率:<0.1 nm;縱向位移噪音背景: <1.5 nm。
6. 壓電陶瓷驅動的平移平臺:X-Y可移動范圍:50 μm; X-Y靈敏度: 2 nm;Z可移動范圍: 3μm;Z靈敏度: 0.1nm。
7. 手動定位:X-Y可移動范圍: 750 μm;Z可移動范圍: 5000 μm。