透射電子顯微鏡由以下幾大部分組成：照明系統，成像光學系統；記錄系統；真空系統；電氣系統。成像光學系統，又稱鏡筒，是透射電鏡的主體。
照明系統主要由電子槍和聚光鏡組成。電子槍是發射電子的照明光源。聚光鏡是把電子槍發射出來的電子會聚而成的交叉點進一步會聚后照射到樣品上。照明系統的作用就是提供一束亮度高、照明孔徑角小、平行度好、束流穩定的照明源。
