薄膜樣品的制備
塊狀材料是通過減薄的方法制備成對電子束透明的薄膜樣品。制備薄膜一般有以下步驟：
（1）切取厚度小于0.5mm 的薄塊。
（2）用金相砂紙研磨，把薄塊減薄到0.1mm-0.05mm 左右的薄片。為避免嚴重發熱或形成應力，可采用化學拋光法。
（3）用電解拋光，或離子轟擊法進行最終減薄，在孔洞邊緣獲得厚度小于500nm 的薄膜。
