大部分氧化物具有很高的熱穩定性，尤其是IIA和IVB族元素的氧化物、Li2O、Na2O、B2O3、Al2O3、SiO2等，對熱不穩定的氧化物較少，例如鹵素的氧化物、N2O5、Ag2O、HgO等。短周期元素氧化物的穩定性從左至右遞減，唯堿金屬元素氧化物的穩定性較堿土金屬為差，當我們考慮到M+離子之間的斥力而使M2O的晶格能較低時就不難理解這個“反常”現象了；在同一族里，尤其是副族元素，從上向下熱穩定性增強，這是因為，雖然從上向下隨著陽離子和陰離子半徑之和的增加而減小了晶格能，但隨原子半徑的增大而減小電離能的效應更為顯著，特別是當陽離子的半徑比氧離子的半徑小時更是這樣。