一、體格檢查
肺部聽診
爆裂音或velcro啰音是間質性肺炎最常見的體征，也是早期體征，這種啰音表淺、細小，高調，似撕開尼龍扣帶時發出的聲音，分布以中下肺居多。杵狀指
表現為手指或足趾末端增生、肥厚、呈杵狀膨大，是慢性纖維化患者常見的表現，通常提示嚴重的肺結構破壞和肺功能受損。肺動脈高壓和肺心病的表現
間質性肺炎進展到晚期，可以出現肺動脈高壓和肺心病，進而表現為發紺、呼吸急促、下肢水腫等征象。
二、影像學檢查
X線胸片可以提示患者炎癥和肺纖維化的程度，如果胸片正常，也不能排除其他間質性疾病。胸部高分辨率CT（HRCT）可以更加細致地顯示肺實質和肺間質異常的程度和性質。
三、肺功能檢查
間質性肺炎的患者以限制性通氣功能障礙和氣體交換障礙為特征，表現為肺容量包括肺總量、肺活量和殘氣量均減少，肺順應性降低，以及彌散量降低。
四、實驗室檢查
常規進行全血細胞學、尿液分析、肌酸激酶、肝腎功能、自身抗體和腫瘤標志物檢查等，鑒別是否合并感染、腫瘤、全身疾病，特別是自身免疫疾病，這些檢查對間質性肺炎的診斷具有重要的意義。
五、支氣管鏡檢查
纖維支氣管鏡檢查可以了解肺部病變的性質，對鑒別間質性肺炎的性質和病因都具有重要的作用。
六、肺活檢
對于臨床和胸部高分辨率CT特征不能明確診斷的間質性肺炎，通常需要經支氣管鏡肺活檢、經皮穿刺肺活檢，以及外科肺活檢，明確病理改變。