隔膜式計量泵利用特殊設計加工的柔性隔膜取代活塞，在驅動機構作用下實現往復運動，完成吸入-排出過程。由于隔膜的隔離作用，在結構上真正實現了被計量流體與驅動潤滑機構之間的隔離。高科技的結構設計和新型材料的選用已經大大提高了隔膜的使用壽命，加上復合材料優異的耐腐蝕特性，隔膜式計量泵成為流體計量應用中的主力泵型。
在隔膜式計量泵家族成員里，液壓隔膜計量泵由于采用了液壓油均勻地驅動隔膜，克服了機械直接驅動方式下泵隔膜受力過分集中的缺點，提升了隔膜壽命和工作壓力上限。為了克服單隔膜式計量泵可能出現的因隔膜破損而造成的工作故障，有的計量泵配備了隔膜破損傳感器，實現隔膜破裂時自動連鎖保護；具有雙隔膜結構泵頭的計量進一步提高了其安全性，適合對安全保護特別敏感的應用場合。
作為隔膜式計量泵的一種，電磁驅動式計量泵以電磁鐵產生脈動驅動力，省卻了電機和變速機構，使得系統小巧緊湊，是小量程低壓計量泵的重要分支。
在隔膜式計量泵家族成員里，液壓隔膜計量泵由于采用了液壓油均勻地驅動隔膜，克服了機械直接驅動方式下泵隔膜受力過分集中的缺點，提升了隔膜壽命和工作壓力上限。為了克服單隔膜式計量泵可能出現的因隔膜破損而造成的工作故障，有的計量泵配備了隔膜破損傳感器，實現隔膜破裂時自動連鎖保護
液壓隔膜計量泵還有安全閥、放氣閥、補油閥，三閥缺一不可，安全閥的起跳壓力略高于管道系統壓力。放氣閥作用是排放液力端內氣體。