diyi步：放入樣品后，溫度和蒸汽壓在密閉的汽化室內達到自然平衡。熱電偶感知樣品上方蒸汽的精確溫度，露點滲透壓儀微處理器將該溫度置為0度，或是測量的參考溫度(TA)。
第二步：熱電偶用熱電制冷片使溫度冷卻到露點以下(TD)，水的微滴開始凝結在熱電偶表面。
第三步：微處理器任由凝結的水來控制熱電偶的溫度。水的凝結所放出的熱量使熱電偶的溫度上升，Z終在一定溫度時，停止凝結。該穩定狀態可在放入樣品后一分鐘達到。
第四步：該穩定溫度即為露點溫度(TD)。在分辨率為0.0003攝氏度時，Z終露點滲透壓儀顯示的讀數與露點溫度降低程度成比例。因為露點溫度下降跟蒸汽壓是函數關系，露點滲透壓儀可進行校準，測量結果直接顯示通用的滲透壓濃度單位(毫摩爾/千克)。