非晶半導體可按H.Fritzsche將非晶半導體分為三大類:
1、共價非晶固體
(1)四配位非晶薄膜
Si,Ge,SiC,InSb,GaAs,GaSb…
(2)四配位玻璃
CdGen,As2,CdSixP2,ZnSixP2,CdSnxAs2…
(3)孤對半導體
a、元素和化合物:Se,S,Te,As2Se3,As2S3
b、交叉鏈網絡:Ge-Sb-Se ,Si-Ge-As-Te,Ge-As-Se, As2Se3-As2Te,As-Se-Te ,Tl2Se-As2Te3
(4)其它:B,As,(Cu1-xAux)Te2…
2、半導體氧化物玻璃
V2O5-P2O5,V2O5-P2O5-BaO,V2O5-GeO2-BaO,
V2O5-PbO-Fe2O3,MnO-Al2O3-SiO2,CoO-Al2O3-SiO2,
FeO-Al2O3-SiO2,TiO2-B2O3-BaO...
3、介質膜
SiOx,Al2O3,ZrO3,Ta2O3,Si3N,BN…