非晶態二氧化硅的制備包含五步，分別是制備二氧化硅質的凝膠、造粒工序、燒結工序、清洗工序、干燥工序。
1、制備二氧化硅質的凝膠
使四氯化硅水解而生成二氧化硅質的凝膠、或使四甲氧基硅烷等有機硅化合物水解而生成二氧化硅質的凝膠、或者使用氣相二氧化硅生成二氧化硅質的凝膠。
2、造粒工序
通過干燥該二氧化硅質的凝膠而成為干燥粉，粉碎該干燥粉后，進行分級，由此得到所期望平均粒徑的二氧化硅粉末。
3、燒結工序
對造粒工序中所得到的二氧化硅粉末在800℃~1450℃的溫度進行燒結，利用熱等離子體的球化工序，在以預定的流量導入氬氣并以預定的高頻輸出功率產生等離子體的等離子體炬內，以預定的供給速度投入燒結工序得到的二氧化硅粉末，在從2000℃至二氧化硅的沸點的溫度加熱并熔融 。
4、清洗工序
去除附著于上述球化工序后的球化二氧化硅粉末表面上的微粉。
5、干燥工序
干燥上述清洗工序后的二氧化硅粉末