高低溫真空微波探針臺是一種用于電子與通信技術領域的工藝試驗儀器，于2016年10月16日啟用。
技術指標
1、六個探針臂接口，可以安裝六個探針臂。2、一個CF40 真空抽氣口，一個快速破真空進氣口。3、載物Chuck 溫度范圍：4K-500K ；CF法蘭接口，系統極限真空優于5*10-6Pa。4、漏率優于：1.3*10-10Pa.M3/s；探針X-Y-Z三方向移動，行程：25.4mm，定位精度：10μm。5、雙屏蔽chuck高低溫時達到100FA 的測試精度。
主要功能
能夠實現樣品在低溫真空環境的測試，實現樣品在10-4 PA 真空度，4.2K 到480K 任意溫度點的精確電學測量，可實現直流和微波（40GHz）的測量。