高真空電子束蒸發鍍膜儀利用經過磁場偏轉的高能量電子束對蒸發物料進行電子加熱,蒸發材料揮發后沉積到樣品表面,沉積成薄膜材料。 該設備可用于Ti、Au的高質量薄膜的制備,廣泛應用于科學研究與半導體制造領域。