高真空蒸發系統的技術指標

　　電子束蒸發源：8kW，2MHz 晶圓尺寸：最大6英寸 真空度：10E-7Torr 蒸發物料：Ti、Au等 典型沉積速率：0.1-10A/s 樣品臺最大傾斜角：±45° 樣品臺工作距離：40-60cm。