島津ICP采用的晶體管固態高頻發生器，是目前商品化ICP光譜儀中，體積最小、重量最輕的發生器。霧化效率高，達到65%。所以，載氣可以用工業氬氣（99.95%），而無需使用高價的高純氬氣（99.999%）。ICPS-7510是順序掃描型ICP，具有高分辨率，更適用于基體復雜的樣品，如稀土、鉬、鎢等。
