高頻等離子體發射光譜儀的技術指標

　　波長范圍：160-850nm 光學系統：光柵分光器 真空紫外區元素對應：真空型分光器 分器溫度：恒溫控制 RF高頻發生器：晶體振蕩型 頻率：27.120MHz 波長范圍和光柵刻線數：160-458nm360條/mm、458-850nm1800條/nm。