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  • 原子層沉積(ALD)設備
    項目所在采購意向:南京大學企業信息2023年7至9月政府采購意向
    采購單位:南京大學企業信息
    采購項目名稱:原子層沉積(ALD)設備
    預算金額:700.000000萬元(人民幣)
    采購品目:

    A02052402 真空應用設備

    采購需求概況 :

    南京大學企業信息擬采購原子層沉積(ALD)設備一臺, 在不經過大氣環境轉移的情況下,可連續實現金屬和介質材料的多層結構,同時保障界面清潔無損;在集成電路的核心工藝通孔填充環節,利用該設備可實現均勻、致密的阻擋層、種子層、金屬層,并避免金屬擴散,提高器件可靠性。主要技術指標:1. 雙腔互聯結構;2. 兼容200mm及以下晶圓;3. 可選擇熱沉積和等離子輔助沉積兩種模式;4. 工藝溫度范圍:30-550C;5. 至少配備5路金屬前驅體源和5路工藝氣路。質保期:3年。

    預計采購時間:2023-09


    高通量非靶向篩選質譜儀
    項目所在采購意向:南京大學企業信息2023年7至9月政府采購意向
    采購單位:南京大學企業信息
    采購項目名稱:高通量非靶向篩選質譜儀
    預算金額:485.000000萬元(人民幣)
    采購品目:

    A02100407 質譜儀

    采購需求概況 :

    南京大學企業信息擬采購高通量非靶向篩選質譜儀器一臺,主要用于環境毒害污染物篩查、合成生物學學、代謝組學、藥物發現等研究。產品需要配置自動化固相萃取裝置,自動進樣裝置和高分辨質譜儀;進樣通量不高于1min/sample;兼容384孔進樣板;質譜儀質量范圍不低于2000amu;采樣速度不低于30張譜圖/秒;產品質保期3年。

    預計采購時間:2023-07


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