分析測試百科網訊 近日，中國科學院福建物質結構研究所2021年3至12月政府采購意向公布，總預算金額1200萬元，意向采購原子層沉積系統、原子力顯微鏡、橢偏儀、X射線單晶衍射系統、掃描電子顯微鏡等。
| 序號 | 采購單位 | 采購項目 | 采購品目 | 采購需求概況 | 預算金額 | 預計 |
| 名稱 | (萬元) | 采購日期 | ||||
| 1 | 中國科學院福建物質結構研究所 | 原子層沉積系統 | A02110204半導體器件參數測量儀 |
1) 反應腔最大樣品尺寸：8寸； 2) 等離子體發生系統； 3) 3套常溫液態源管路，1套加熱源管路； 4) 8英寸硅片上Al2O3薄膜厚度不均勻性： 1.5 % (1-sigma, 邊緣 5 mm 除外)。 |
110 | 2021年5月 |
| 2 | 中國科學院福建物質結構研究所 | 實驗家具 | A0699其他家具用具 | 1) 實驗室推柜實驗臺、邊臺、吊柜； 2) 鋁玻試劑架及托盤架、水盆、三口水龍頭、水杯雙龍頭、滴水架、洗眼器； 3) 通風藥品柜、展示柜、文件柜、儲物柜 | 150 | 2021年5月 |
| 3 | 中國科學院福建物質結構研究所 | 原子力顯微鏡 | A02100301顯微鏡 | 1)XY方向掃描范圍不小于 90x90μm，Z方向上不小于10μm； 2)樣品臺尺寸直徑不小于200 mm； 3)具備快掃功能； 4)具備contact mode, Force Curve, Tappingmode, Force modulation,智能成像模式等功能。 | 170 | 2021年5月 |
| 4 | 中國科學院福建物質結構研究所 | 橢偏儀 | A02100304光學測試儀器 | 1)波長范圍190-1700nm； 2)厚度測量范圍：1nm-15μm； 3)測量準確度：Ψ≤45°±0.05°，Δ≤0°±0.05°； 4)光譜分辨率：優于0.8 nm/像素。 | 100 | 2021年5月 |
| 5 | 中國科學院福建物質結構研究所 | X射線單晶衍射系統(Mo) | A02100405射線式分析儀器 | 1）X射線光源: Mo微焦斑轉靶光源系統，輸出功率不小于1000W，搭配增強型多層膜鏡子； 2）光學編碼高精度測角儀：2theta角-90°- +90°，Phi角360°旋轉； 3）高靈敏度二維探測器: 有效尺寸不小于70×70 mm2 | 280 | 2021年5月 |
| 6 | 中國科學院福建物質結構研究所 | X射線單晶衍射系統(Cu) | A02100405射線式分析儀器 | 1）X射線發生器部分：Cu微焦斑光管功率不小于50W，搭配增強型多層膜鏡子； 2）光學編碼高精度測角儀：2theta角-90°- +90°，Phi角360°旋轉； 3）高靈敏度二維探測器: 有效尺寸不小于：70×70 mm2。 | 140 | 2021年5月 |
| 7 | 中國科學院福建物質結構研究所 | 掃描電子顯微鏡 | A02100301顯微鏡 | 1）場發射電子槍； 2）1kV最高分辨率達到了1.5nm，15kV達到1.0nm； 3）能譜儀系統：能量分辨率優于129eV（Mn Kα的分辨率），配合實現樣品的點、線、面成分分析。 | 250 | 2021年5月 |
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