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  • 發布時間:2019-12-16 11:41 原文鏈接: AFM檢測技術

          原子力顯微鏡(Atomic Forcc Microscopc,AFM),也稱掃描力顯微鏡(scanning FOrccMicroscopc,sFM),是一種納米級高分辨的掃描探針顯微鏡,優于光學衍射極限1000倍。 ADM811原子力顯微鏡是由IBM公司蘇黎世研究中心的格爾德?賓寧與斯福大學的Ca1vin Quate于1985年發明的,其目的是讓非導體也可以采用類似于掃描探針顯微鏡(sPM)的方法觀測。

         AFM與掃描隧道顯微鏡(sTM)最大的差別在于并未利用電子隧穿效應,而是通過檢測原子之間的接觸、范德瓦耳斯力、原子鍵合或卡西米爾效應等來獲得樣品的表面特性。原子力顯微鏡系統示意圖如圖l-28所示,AFM掃描信息是通過微懸臂感受和懸臂上尖細探針的“感覺”來收集的,用導電懸臂和導電原子力顯微鏡附件可以測量樣品的電流偏壓,而壓電元件可以精確控制樣品或掃描器進行微小的移動;更高精度的設備可以通過檢測探針上的電流來獲得樣品的電導率或下表面電子的移動,不過這種測試是非常困難的,只有個別實驗室報道了一致的數據u習。利用微懸臂感受并放大懸臂上尖細探針與樣品表面原子間的作用力,可以實現原子級的分辨率。由于原子力顯微鏡既可以觀察導體,也可以觀察非導體,從而彌補了掃描隧道顯微鏡的不足。

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