AFM可用于了解石墨烯細微的形貌和確切的厚度信息,屬于掃描探針顯微鏡,它利用針尖和樣品之間的相互作用力傳感到微懸臂上,進而由激光反射系統檢測懸臂彎曲形變,這樣就間接測量了針尖樣品間的作用力從而反映出樣品表面形貌。因此,表征方法主要表征片層的厚度、表面起伏和臺階等形貌,及層間高度差測量。
原子力顯微技術是判定是否是石墨烯的最好的表征方法,因為能夠直接用它就能觀察到石墨烯的表面形貌,同時還能測出此石墨烯的厚薄程度,然后再與單層的石墨烯的厚度進行對比,從而確定是否存在單層石墨烯。但是AFM也有缺點,就是它的效率很低。這是因為在石墨烯的表面常會有一些吸附物存在,這會使所測出的石墨烯的厚度會略大于它的實際厚度。

圖3中a顯示的是單層的碳原子進行緊密排列而構成的二維的點陣結構;圖b顯示的是石墨烯的AFM圖像,掃描探針顯微結構中,AFM可以直接觀測到其表面形貌,并測出厚度,但是最大的缺點就是效率低,而且由于表面不純凈,常會有吸附物存在,導致測出的厚度要稍大于實際厚度。
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