一、 激發臺火花室部分，清理周期，每周一次。
1、 打開激發臺門，取下防護板，拔出過濾筒入口端的廢氣管，用吸塵器從激發孔將火花室內的金屬粉塵吸干凈；
2、 然后擰松緊固電極的黑色旋鈕，用攝子或尖嘴鉗小心將電極垂直取出；
3、 用平口螺絲刀將激發臺兩側的螺絲擰松，將激發臺與光路接口部分小心分開，并取下激發臺；
4、 小心取出石英杯及O型圈，留意O型圈的裝配位置，不能裝錯，石英杯可用脫脂棉醮酒精擦拭干凈，激發臺、電極底座、電極O型圈用脫脂棉直接擦拭干凈，必要時激發臺和石英杯可先用吸塵器吸一下；
5、 電極頭如果有鋁粘在上面，用電極刷無法清理時，不可用銼刀或砂紙打磨，可將電極浸入1：3的HCl中浸泡一陣，然后用清水沖洗干凈；
6、 擦拭干凈后，將石英杯、O型圈裝好，固定好激發臺；
7、 將電極插入，用電極量規調整好電極與激發臺面的距離（分析間隙，為3mm）；
8、 擰緊緊固電極的黑色旋鈕。
二、 廢氣過濾筒的清理，清理周期，每半個月一次。
1、 用專用扳手將廢氣過濾筒擰松，御下過濾筒；
2、 過濾芯用水沖洗干凈，并涼干，或換一個新的裝上，并擰緊，否則空氣進入氬氣回路中，會影響分析結果；
3、 過濾芯不可用吸塵器吸，因過濾上多半是金屬粉末，容易起火。
三、 風扇濾塵器清理，清理周期，每月清理一次。
1、 取下風扇濾塵器外面的塑料框；
2、 取出過濾網，并用水沖洗或加一點洗滌劑洗干凈，涼干；
3、 裝上過濾網及塑料框；
4、 用一張紙靠近過濾網檢查風扇的運行狀態，看能否吸住，如能吸住，則表明風扇運轉正常，反之則應該更換風扇。
四、 電子柜、光源箱灰塵清理，清理周期，每半年清理一次。
1、 按正常關機順序關閉光譜儀；
2、 打開光譜儀的兩塊前面板，用吸塵器清理主控電子柜內的灰塵，并檢查電子板有沒有松動，如有要插好；
3、 用螺絲刀擰開光源柜面板上的螺絲，將光源柜小心拖出，用吸塵器吸去上面的灰塵；
4、 將光源柜小心推入，固定好，并蓋上兩塊面板。
注意：手不要碰到光源柜內的高壓電容，以防觸電。
五、 透鏡清理，清理周期，每年清理一次（該項操作必須由專人負責）。
1、 打開激發臺門，抽出檔板，用螺絲刀御下激發臺；
2、 關閉光源開關，關閉真空隔離閥；
3、 御下電子快門，拔下透鏡加熱插頭；
4、 擰下氬氣進氣口螺絲；
5、 擰松兩銅螺絲，小心取下透鏡，并用鏡頭紙或醮酒精擦試干凈，涼干，再裝好；
6、 按相反的順序裝好其它部件；
7、 該項操作對設備影響很大，操作過程動作要緩慢，不可用猛力。
六、 真空泵換油與油位檢查。真空泵換油一般一年換一次，換油必須由專人負責。油位檢查每周一次。真空泵油位在最底線與中間的那條線之間，兩條線為最高線和最低線。
1、 在開機狀態下，擰下頂蓋板上的螺絲，掀起頂蓋板；
2、 擰松真空釋放閥，釋放真空度，并關閉真空泵電源開關；
3、 待真空度釋放完畢，擰松真空泵與皮管間的螺絲，將皮管從真空泵上御下；
4、 取下真空泵上的油位指示牌，真空泵上面的兩個旋鈕用于補充真空泵油，下面的一個旋鈕用于換油，換油時必須先打開上面的一個旋鈕，以便于換油。
5、 換油或加油結束，將真空泵按相反順序裝好，并擰緊真空泵與皮管間的連接螺絲；
6、 擰緊真空釋放閥，打開真空泵電源，在5分鐘內，如果真空泵噪音依舊很大，那么，先關閉真空泵電源，檢查真空室的連接部位是否有異物并清除，關好真空室，打開真空泵電源；
7、 待真空泵的噪音降低以后，輕擰一下真空室的緊固螺絲，使其接觸即可；
8、 蓋上頂蓋，擰好螺絲，至此該項工作結束。
七、 冷卻水水位檢查與加水。每周檢查一次。冷卻水水位應不低于總高的
，最高不超過總高的。
1、 先將水池靠上部的水管旋高，然后對折水管，關閉水泵電源；
2、 擰松上部水管與水池的連接螺絲，拔開水管，加入蒸餾水；
3、 接上水管，擰緊螺絲，松開對折的水管，打開水泵電源，至此加水結束。
八、 狹縫定位與掃描。根據儀器的運行狀況，一般每半年定位一次（該項操作必須由專人負責）。
1、 運行分析軟件，選擇初始化菜單；
2、 運行積分描跡程序；
3、 選擇相應的分析程序，可選Al基或Fe基，但所選擇的通道必須具有代表性，即所選通道必須能覆蓋整個分析波長范圍，一般取高中低三個通道即可；
4、 選擇起始刻度（88左右），最大步數（10—15）及單步值（一般選2）；
5、 旋好刻度，點擊開始掃描，反復進行至掃描結束，獲得最新狹縫定位值。
6、 根據狹縫定位值，調整入射狹縫位置，先逆時針旋轉20個刻度，再順序針定位于狹縫定位值。
說明：除特別注明外，以上維護保養操作由操作者完成。
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