CCD光譜儀的光源使樣品蒸發、解離，使樣品中的元素原子化并激發特征譜線。ARTUS8采用數字化等離子激發光源由微處理器控制，可自動分析材料中不同元素的波長及濃度特性，匹配激發波形及激發能量，大大提高了光源穩定性且優化了激發效果，保證了整臺儀器的分析精度。
CCD光譜儀的激發光源：
1、全自動控制火花源；
2、半導體控制放電激發；
3、1 到 100 A等低氬氣消耗；
4、使用便捷的樣品離子體電流；
5、放電參數由密碼保護；
6、特別的分析要求可有不同的激發參數；
7、火花光源放電穩定，不受供電系統波動的影響；
8、激發參數由激發線和分析程序標定和控制；
9、火花源可有多種參數設置；
10、火花頻率: 200 到 to 1000 Hz （可控）；
11、火花持續時間 10-10000 us (可控） ；
CCD光譜儀的控制系統：
1、電子系統具有微處理器控制的多通道積分和數據系統采集功能；
2、高速16位模數轉換器；
3、ISP混合信號Flash微控制器100MHz；
4、多種連接源；
5、高速讀出及高速USB接口支持快速數據控制與處理系統；
6、可多達16塊CCD模塊，由制造商根據應用情況選擇。