采用磁控濺射制備Co(200nm)/6H-SiC異質結,在500-1000℃下退火,通過X-射線衍射(XRD)、俄歇電子能譜散射(AES)、拉曼光譜散射(Raman)研究接觸界面的化學反應。研究表明高溫下反應易生成穩定的化合物Co2Si,反應生成的C單質經擴散會富集于界面的最表面,并呈現晶態石墨和無定形結構。