ecd的出現是一系列射線電離檢測器發展的結果。1952 年首次出現了 β-射線橫截面電離檢測器；1958 年 lovelock 提出 β-射線氬電離檢測器。當鹵代化合物進入該檢測器時，出現了異常，于是 lovelock 進一步研究，首次提出了此異常是具電負性官能團的有機物俘獲電子造成的，進而發展成電子俘獲檢測器。此后至今的 40多年中，ecd在電離源的種類、檢測電路、池結構和池體積等方面均作了很大的改進，從而使現代 ecd 的靈敏度、線性及線性范圍、最高使用溫度及應用范圍等均有了很大的改善和提高。