當然有原始數據!(如果你是和SEM一起測的話)在你保存文件的文件夾里有個Untitled文件夾,你的數據就在里面,這個就是EDS的原始文件。通過一個專業的軟件(這個軟件是什么我不知道)才能將這個Untitled文件夾里的數據(View什么什么的格式的數據)轉換成word格式的。