區別如下：
1、EDX是熒光分析，EDS是能譜分析，EDXRF是能量色散型熒光X射線。
2、EDS能量色散溥儀，按能量展譜，主要器件為Li-Si半導體探測器.主要利用X光量子的能量不同來進行元素分析。
3、EDX是借助于分析試樣發出的元素特征X射線波長和強度實現的， 根據不同元素特征X射線波長的不同來測定試樣所含的元素。通過對比不同元素譜線的強度可以測定試樣中元素的含量。通常EDX結合電子顯微鏡使用，可以對樣品進行微區成分分析。
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