EDX的工作原理

EDX是借助于分析試樣發出的元素特征X射線波長和強度實現的， 根據波長測定試樣所含的元素，根據強度測定元素的相對含量。

常用的EDX探測器是硅滲鋰探測器。當特征X射線光子進入硅滲鋰探測器后便將硅原子電離，產生若干電子-空穴對，其數量與光子的能量成正比。利用偏壓收集這些電子空穴對，經過一系列轉換器以后變成電壓脈沖供給多脈沖高度分析器，并計數能譜中每個能帶的脈沖數。