EVG 510-晶圓鍵合機（晶圓鍵合機）是一種高度靈活的晶圓鍵合系統，可以處理從碎片到200
mm的基板尺寸。該工具支持所有常見的晶圓鍵合工藝，例如陽極，玻璃粉，焊料，共晶，瞬態液相和直接法。易于使用的鍵合腔室和工具設計允許對不同的晶圓尺寸和工藝進行快速便捷的重新工具化，轉換時間不到5分鐘。
EVG 510-晶圓鍵合機特征：
1.獨特的壓力和溫度均勻性。
2.兼容EVG機械和光學對準器。
3.靈活的設計和配置，用于研究和試生產。
4.將單芯片形成晶圓。
5.各種工藝（共晶，焊料，TLP，直接鍵合）。
6.可選的渦輪泵（<1E-5 mbar）。
7.可升級用于陽極鍵合。
8.開室設計，易于轉換和維護。
9.生產兼容。
10.高通量，具有快速加熱和泵送規格。
11.通過自動楔形補償實現高產量。
12.開室設計，可快速轉換和維護。
13.200 mm鍵合系統的最小占地面積：0.8 m 2。
14.程序與EVG的大批量生產鍵合系統完全兼容。