| 儀器名稱： | 熱場發射掃描電鏡 |
| 儀器編號： | 15008701 |
| 產地： | 捷克 |
| 生產廠家： | FEI Company |
| 型號： | Quanta 450 FEG |
| 出廠日期： | 201505 |
| 購置日期： | 201505 |
| 所屬單位： | 集成電路學院>微納加工平臺>測試與分析 |
| 放置地點： | 微納平臺光刻間 |
| 固定電話： | 01062784044-216 |
| 固定手機： | 13552207495 |
| 固定email： | chenyalu@mail.tsinghua.edu.cn |
| 聯系人： | 陳雅璐（010-62782076,13552207495,chenyalu@mail.tsinghua.edu.cn） 竇維治（010-62781090,13366273985,douwz@tsinghua.edu.cn） |
| 分類標簽： | 掃描電鏡 |
| 技術指標： | 超高分辨率（1nm/30kV，3 nm/3kV）；有效放大倍數：40X~300000X; 加速電壓范圍：200V~30KV |
| 知名用戶： | 尤政：精儀系 陳兢：北京大學信息學院朱榮：精儀系 嚴清峰：化學系 任大海：精儀系 梁桂強：機械系 錢鶴：微電子所 吳華強：微電子所 蔡堅：微電子所 王喆垚：微電子所 伍曉明：微電子所 王敬：微電子所 鄧寧：微電子所 劉澤文：微電子所 |
| 技術團隊： | 設備工程師：魯勇 測試工程師：陳雅璐 |
| 功能特色： | 場發射掃描電鏡具有超高分辨率（1nm/30kV，3 nm/3kV），能對多種樣品進行照相，并獲得倍率高于100000倍的高清晰數字圖像（有效放大倍數：40X~300000X），可觀測導電、不導電、含水樣品。樣品室抽真空時間較短（<150秒）；加速電壓范圍：200V~30KV；樣品臺移動范圍較大：X/Y : 100 mm，Z : 60 mm，R：360度連續旋轉，T：- 5~+70度傾斜；樣品臺尺寸較大：直徑65mm（最大可放置直徑150mm圓片，樣品最高40mm）。 |
樣品要求：
樣品臺尺寸：直徑65mm（最大可放置直徑150mm圓片，樣品最高40mm）；
觀測樣品最小尺寸：普通樣品幾十納米，金顆粒樣品十幾納米。
觀測樣品種類：導電、不導電、含水樣品。
預約說明：
預約本設備時請與實驗室管理員確認設備狀態。
| 項目名稱 | 計價單位 | 費用類別 | 價格 | 備注 |
|---|---|---|---|---|
| 上機測試 | 元/小時 | 自主上機機時費 | 400.0 | |
| 送樣測試 | 元/小時 | 測試費 | 400.0 |
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