| 儀器名稱： | 橢圓偏振光譜儀 |
| 儀器編號： | 10013202 |
| 產地： | 中國 |
| 生產廠家： | Horiba Jobin Yvon |
| 型號： | UVISEL |
| 出廠日期： | 201009 |
| 購置日期： | 201009 |
| 所屬單位： | 集成電路學院>微納加工平臺>測試與分析 |
| 放置地點： | 集成電路學院一層超凈間內測試間 |
| 固定電話： | |
| 固定手機： | |
| 固定email： | sux@mail.tsinghua.edu.cn |
| 聯系人： | 蘇鑫（010-62781090,18511794134,sux@mail.tsinghua.edu.cn） 竇維治（010-62781090,13366273985,douwz@tsinghua.edu.cn） |
| 分類標簽： | 半導體 測試 膜厚 折射率 消光系數 光學參數 |
| 技術指標： |
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| 知名用戶： | 許軍：微電子所 王曉紅：微電子所 王敬：微電子所 劉澤文：微電子所 李正操：材料系 陳煒：微電子所 任天令：微電子所 嚴清峰：化學系 |
| 技術團隊： | 設備工程師：曹秉軍 測試工程師：蘇鑫 |
| 功能特色： |
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樣品要求：
樣品基底平整，薄膜平整；
樣品尺寸小于6寸；
樣品重量小于3kg。
接受送樣測試，需要提前與工程師聯系，未通過準入的用戶不能進入實驗室。
預約說明：
實驗室的設備采用網上預約的方式、以先約先用為基本原則
取消預約需提前2個小時通過網上取消預約
| 項目名稱 | 計價單位 | 費用類別 | 價格 | 備注 |
|---|---|---|---|---|
| 橢偏儀測試 | 元/小時 | 自主上機機時費 | 300.0 | |
| 橢偏儀測試-送樣 | 元/小時 | 測試費 | 300.0 |
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