ICP光譜儀的分析過程主要分三步，即激發、分光和檢測。
其一，激發光源使試樣蒸發汽化，離解或分解為原子狀態，原子也可能進一步電離成離子狀態。原子及離子在光源中激發發光；
其二，利用分光器把光源發射的光色散為按波長排列的光譜；
其三，利用光電器件檢測光譜，按所測得的光譜波長對試樣進行定性分析，或按發射光強度進行定量分析。
