ICP光譜儀即電感耦合等離子體光譜儀，這種光譜儀根據處于激發態的待測元素原子回到基態時發射的特征譜線對待測元素進行分析，一般常用于無機元素的定性定量分析。霧化器作為ICP光譜儀的重要組件之一，其作用是將試液霧化。對于ICP光譜來說，霧化器的維護直接影響了檢測結果的好壞。
常見故障一：矩管點燃，循環水指示燈時閃時斷，火焰突滅不能工作。
原因：(1)循環水冷卻，系統泵壓不足；
(2)磁動儀表保護開關預值過高，經常處于長閉狀態，出現假保護現象。
解決方案：(1)在原有的循環水管路中串接增壓泵，增加整個水管路中的壓力；
(2)除去磁儀表開關，使水流直接進入矩管系統，保持長流水。
常見故障二：反射功率超設定值，矩管源點不著火。
原因：集成板741無輸出正電壓信號，使反射功率無法調整，控制電路失調，片子損壞。
檢修：更換集成塊741
常見故障三：按矩管電源前面板rf-on鍵，點不著火，矩管高壓耦合電容連續抖動，按鍵，燈不 斷閃動，電容打火放電。
原因：高壓耦合雙連電容的高壓多股鍍銀線接觸不良，不斷打火發紅，電容值改變不穩，導 致矩管能量不能按預設值耦合，故無法點燃矩管。
解決方法：利用外套屏蔽鍍銀線的電纜代替高壓連線，用銀焊接上。