做完樣后，先用酸沖再用水沖，由于里面整個是溶液系統，所以這樣才可以沖干凈。用3% 或者 5% 濃度的酸都可以，甚至10%都可以，這樣霧化器和霧室都比較干凈。
矩管的清理：炬管比較臟時可用 20-30% 酸洗，同時可加熱，這樣洗得更干凈，在電熱板上加 20-30%酸或直接加熱去洗。3%-5% 硝酸對合金礦樣不管用，只能加大酸度再加熱，洗完后用水沖干凈即可。
注意：洗完之后，霧室本來就是水環境，不用烘干也可以，炬管一定要吹干，否則點炬可能點不著。有水的話就會有氧，一個是電阻發生改變，一個是亞氧的環境不容易激發，造成點炬不成功，所以炬管一定要烘干才能開始。